Strukturbreite

Strukturbreite,

 

kleinste Abmessung der fotolithographisch erzeugten Elemente - etwa die Breite der Leiterbahnen - auf einem Chip (Chip-Herstellung), angegeben in µm. Die Strukturbreiten heutiger Chips liegen zwischen 0,25 und 0,13 µm - oder sogar darunter, wenn die neuartige Kupfertechnologie eingesetzt wird. Geringere Strukturbreiten erlauben eine höhere Integration, also mehr Transistoren auf einem Chip. Möglich werden so auch höhere Taktfrequenzen. Gleichzeitig lassen sich durch geringe Strukturbreiten der Energieverbrauch und die Betriebstemperatur senken. - Zum Vergleich: Der Durchmesser eines Staubteilchens liegt bei 35 µm, der eines menschlichen Haars bei 75 µm.